Elektrolytisches Polieren, Ätzen und Dünnen

Von der Probe wird Material durch Anlegen eines elektrischen Stroms und den Angriff eines Elektrolyten anodisch abgetragen oder eine Schicht aufgebaut. Durch Abstimmung der Elektrolytlösung, der Arbeitstemperatur (ab ca. - 50°C möglich) sowie des Arbeitsstromes kann ein Polieren, Ätzen oder ein kombiniertes Polieren und Ätzen erfolgen. Voraussetzung für die elektrolytische Präparation sind leitfähige und gut kontaktierbare Proben. Die entstehenden Probenoberflächen sind frei von Schmier- und Verformungsschichten und bei gut eingestellten Parametern ist es bei geringem Zeitaufwand möglich, gut reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen.

Beim elektrolytischen Dünnen wird ebenfalls der anodische Materialabtrag genutzt. Ein fokussierter Elektrolytstrahl trägt beidseitig von einer Probe mit einem Durchmesser von 3 mm und etwa 100 µm Dicke solange Material ab, bis eine Perforation erfolgt. Am Rand dieses Durchbruchs werden durchstrahlbare Bereiche mit einer Dicke kleiner 100 nm erzeugt, die anschließend im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) untersucht werden können.

LectroPol-5

Elektrolytisches Polieren und Ätzen leitfähiger Proben

TenuPol-5

Elektrolytisches Dünnen für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)

Erzeugung perforierter Proben (durchstrahlbar in den Randbereichen der Löcher) aus ausgestanzten Proben mit einem Durchmesser von 3 mm