Zeiss Ultra Plus

Technische Spezifikation:

• Betriebsspannungsbereich liegt bei 0,02-30kV
• Strahlstrom bis 100 nA
• Lokaler Ladungskompensator für die Abbildung nicht leitender Proben
• In-Lens, SE, EsB Detektor
• Kombiniertes EDX/EBSD-System zur Elementanalyse
• und Untersuchung von Phasen und Texturen

Phillips XL 40 ESEM TMP (jetzt FEI Quanta 600)

Technische Spezifikation

• Betriebsmodi: 200 V (low vacuum bis 26 mbar) bis 30 kV (high vacuum)
• ESEM (Wasserdampf- oder    Gasatmosphäre)
• SE, BSE und GSE Detektor
• EDX-System zur Elementanalyse
• EBSD zur Untersuchung von Phasen und Texturen
• Kammer mit 379 mm Durchmesser

Anwendung

• Untersuchung der Oberflächenstrukturen von metallischen Proben und von nicht leitenden, unbeschichteten Keramik- und Polymerproben
• Charakterisierung von Bruchflächen
• Risswachstumsanalysen
• Analyse mit EDX: qualitative und quantitative Bestimmung der chemischen Zusammensetzung, EDX-Mapping (Schichtenaufbau, Mengenverteilung der einzelnen Elemente)
• Analyse mit EBSD: Korngrößencharakterisierung, örtliche Textur, Phasenidentifizierung und -verteilung, Bruchanalyse